小型線切割機批發(fā)，2014年，三星公司14納米三柵極FinFET芯片工廠已經開始批量生產，相比20納米半導體工藝，14納米工藝可以將處理器芯片的性能提高20%，功耗能降低35%，占用面積減少15%。借助14納米工藝，微處理的性能在進一步提高的同時，功耗和成本有所降低。

微集成技術正在由平面集成向三維集成發(fā)展，由芯片級向集成度和復雜度更高的系統(tǒng)級發(fā)展。微集成技術的成熟將帶動具備傳感、處理、控制等多種功能的微系統(tǒng)快速發(fā)展，在大幅提升性能的同時，實現能耗和體積數十至數百倍的降低。

小型線切割機批發(fā)，在集成技術方面，開展了“三維集成電路”和“多方式異構集成”等三維集成技術研究，多個低功率、小信號、同質微電子器件的三維集成已成為標準工藝；微/光電子、微機電系統(tǒng)等多種器件間的集成獲較大進展。

小型線切割機批發(fā)，DARPA在2011年啟動“電子-光子混雜集成”（E-PHI）計劃，目標是將高速電子直接與芯片級的光子微系統(tǒng)集成到一個微型硅芯片上，2014年該項目成功地在硅片上集成數十億個發(fā)光點，發(fā)出有效的硅基激光。