數(shù)控中走絲，特別地，電容式傳感器還可以承受更高的滿量程過載，這點對于小量程測試應用也是十分重要的，因為相對高的壓力載荷經常會出現(xiàn)在小量程壓力檢測過程中。通過上述分析可知，電容式壓力傳感器很適合用于小量程壓力測量。

數(shù)控中走絲，回首歷史，電容式傳感器很早就被用來測量壓力、位移等。但由于當時技術水平的限制，使它的應用面臨較多的困難，發(fā)展相對緩慢。隨著科技的日新月異，特別是半導體產業(yè)的進步，新材料、新工藝、新電路得以不斷被開發(fā)，電容式傳感器曾經遇到的許多技術問題都能夠得到解決，所以從20世紀80年代開始,各國開始對MEMS電容式壓力傳感器進行研究。

數(shù)控中走絲，作為MEMS壓力傳感器的一個重要發(fā)展方向，國內外都探索了如何提高傳感器在測量小量程壓力時的靈敏度，但研究主要集中在壓阻式傳感器，對電容式傳感器的關注卻比較少。數(shù)控中走絲，國外研制的小量程MEMS電容式壓力傳感器初步實現(xiàn)了產品化，國內卻僅有中國科學院的王躍林教授所帶領的研究團隊對此領域開展了系列研究。